檢查旋片式真空泵時，應將真空泵隔離后再進行檢查。先隔離閥門到真空泵這段系統各可疑部位，閥門，法蘭，管道焊縫轉彎處并作細致的檢漏工作。通常用真空計法，即用毛筆蘸取酒精，丙酮等有機溶劑逐一涂抹以上可疑部位和真空泵的進氣口接縫等處，同時看真空計或輝光顏色的變化。當發現真空計抖動或紫色輝光變乳白色時，可判定被涂到的部位漏氣。在漏隙較小時，這種方法就難以察覺了，應采用更靈敏的方法檢漏。如有漏氣處，則可修補下。如果是真空泵本身有問題，則應該把真空泵從真空系統上拆下檢修。