1.無油真空泵的結構：
軸承腔一般采用潤滑油來冷卻、潤滑，如該部分泵油被乳化立即更換新油，否則將會造成軸承的銹蝕而造成泵的振動、噪聲變大，此時如再不及時更換軸承，則會加劇齒輪的磨損從而造成整臺泵的損壞。
2.無油真空泵泵腔內：
真空泵在抽除大量水蒸汽及化工溶劑時，轉子表面及泵腔表面容易出現銹蝕現象，經常出現試車后幾天未用泵即被銹死而無法運轉。或長時間停用后，再次開啟時泵被銹死；或在長時間使用后發現轉子及泵腔被腐蝕而影響泵的性能。