無油防爆真空泵顧名思義，是不需用油潤滑即可工作，而且還是不會污染環境及被處理的產品。比較適合真空干燥、真空濃縮作業的。它的特點除了不需要油潤滑之外，往往在泵上配有吸氣過濾裝置和排氣消音裝置，整體壽命較長，且維修也比較方便。結構較為緊湊、整體重量輕，外形尺寸少于同類真空泵。