使用無油防爆真空泵時，如果真空室和泵之間沒有冷阱，則不能用機械泵直接抽真空至13Pa以下，因為在壓強低于13Pa時，油燕氣分子將返流到真空室造成污染。其次，在啟動機械泵之前，要檢查泵油的狀態，看是否被污染，泵油的油位是否合乎要求。還有就是，它的前級壓力應在允許壓強范圍之內，若是具有過載保護裝置.則可以啟動得稍早一些。還有就是油增壓泵在啟動之前要檢查確定前級壓力在允許壓力范圍內。