1.旋片式真空泵葉片出現磨損，與缸體間摩擦時接觸面不夠大，導致真空度不足。
2.缸體出現磨損，缸體內壁可能出現磨損，導致真空度不足。
3.轉子移位。轉子與端蓋的標準安裝位置發生偏移，導致真空度不足，可找廠家校正。
4.旋片式真空泵漏氣，經過長時間使用后，密封墊片老化致使真空泵漏氣，導致真空度不足。
5.電機是否正常。電機的轉速不正常抽速將會減慢，從而導致真空度不足。
6.旋片式真空泵油乳化、碳化。