一般來說旋片式真空泵出現泵溫升高的時候，往往會讓泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的壓力升高和抽氣效率下降；讓橡膠件容易老化，使熱膨脹進行運轉的間隙縮小，特別是旋片式真空泵內部某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙，是可以直接影響到泵運轉的可能性。而泵溫過高的原因，通常會是進氣溫度太高、進氣冷卻裝置失效、泵長期連續運轉入口壓力太高、泵冷卻水量不足、循環水設計效果不佳以及溫控水量調節閥失效等狀況。